摘要 c]:sk[u  
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可用于嚴格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中，可以設置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴格的分析、并以不同的格式分析結果（例如光柵階次匯集、單值等）。與參數(shù)運行結合使用，可以在給定的參數(shù)空間上進行掃描，以研究指定結構在不同配置下的性能。 1{\{'EP{  
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圖片:1-20042G00011263.png

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傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA） Zj;2>  
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建模任務 yIC.JmD*  
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圖片:1-20042G00040528.png

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單次FMM仿真結果 (,$ H!qKy  
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參數(shù)掃描（1D） A-gNfXP,D  
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圖片:1-20042G00241125.png

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參數(shù)掃描（2D） UEmNT9V  
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圖片:1-20042G0042K26.png

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文件信息 #iD5& klo\  
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圖片:1-20042G0045O57.png

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拓展閱讀 T-
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-Grating Order Analyzer #UGtYD}"  
-Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction