摘要 @#Uiy5N :h^UC~[h 3 可用于嚴(yán)格分析
光柵效率。在
VirtualLab Fusion中，可以設(shè)置光柵
系統(tǒng)、執(zhí)行嚴(yán)格的分析、并以不同的格式分析結(jié)果（例如光柵階次匯集、單值等）。與
參數(shù)運(yùn)行結(jié)合使用，可以在給定的參數(shù)空間上進(jìn)行掃描，以研究指定
結(jié)構(gòu)在不同配置下的性能。
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3v >,c>b([ 傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）
>upUY(3& d?y\~< 建模任務(wù) =LY^3TlDj
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?[/, *Q% A'-YwbY 單次FMM仿真結(jié)果 'yRv~BA 8PjhvU 
bK;a V& Bo\v-97 參數(shù)掃描（1D） U105u.#7 [ Q_| 6Di 
M &EJ Fpc* 7:q-NzE\6 參數(shù)掃描（2D） d]~ 1.i Xt*%"7yTp 
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