摘要 >C:If0S4X  
2!BsEvB(  
可用于嚴格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中，可以設置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴格的分析、并以不同的格式分析結(jié)果（例如光柵階次匯集、單值等）。與參數(shù)運行結(jié)合使用，可以在給定的參數(shù)空間上進行掃描，以研究指定結(jié)構(gòu)在不同配置下的性能。 Xty#vI  
4AuH1m)<  

圖片:1-20042G00011263.png

K0LbZMn,/  
傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA） QsM*wT&aa  
X'jr|s^s  
建模任務 m
oaodmt]x  
~+=E"9O
o  

圖片:1-20042G00040528.png

p+vh[+yp  
qZ&