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晶柱切片后處理

發(fā)布:探針臺 2020-05-11 14:28 閱讀:1445
《晶柱切片后處理》
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  硅晶柱長成后,整個晶圓的制作才到了一半,接下必須將晶柱做裁切與檢測,裁切掉頭尾的晶棒將會進行外徑研磨、切片等一連串的處理,最后才能成為一片片價值非凡的晶圓,以下將對晶柱的后處理制程做介紹。   2x)0?N[$O  
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切片(Slicing)   Fy}MXe"f