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聚焦離子束FIB應(yīng)用 聚焦離子束FIB（聚焦離子束，ed Ion beam)是將液態(tài)金屬(大多數(shù)FIB都用Ga)離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過離子槍加速,聚焦后照射于樣品表面產(chǎn)生二次電子信號取得電子像.此功能與SEM（掃描電子顯微鏡）相似,或用強(qiáng)電流離子束對表面原子進(jìn)行剝離,以完成微、納米級表面形貌加工.通常是以物理濺射的方式搭配化學(xué)氣體反應(yīng)，有選擇性的剝除金屬,氧化硅層或沉積金屬層。 中文名：聚焦離子束 |
