微納米結(jié)構(gòu)分析FIB介紹： s ZkQJ->  
電子光學(xué) IyOujdKa  
NICo非浸沒式超高分辨率場發(fā)射掃描鏡筒，配有: =/.[&DG  
· 高穩(wěn)定性肖特基場發(fā)射電子槍，用于提供穩(wěn)定的高分辨率 分析電流 T'\lntN  
· 60 度雙物鏡透鏡，支持傾斜較大的樣品 [HtU-8:  
· 自動加熱式光闌，可確保清潔和無接觸式更換光闌孔 *ky5SM(NR  
· 連續(xù)電子束電流控制和優(yōu)化的光闌角度
BI;in;Ln  
· 電子槍安裝和維護簡單 自動烘烤，自動啟動，無需機械合軸 3RscuD&  
· 兩級掃描偏轉(zhuǎn) |=l;UqB  
· 雙物鏡透鏡，結(jié)合電磁透鏡和靜電透鏡 Gi]Pwo${  
· 快速電子束閘* }pPxN@X  
· 用戶向?qū)Ш顽R筒預(yù)設(shè) =4 &9!Z  
· 電子源壽命至少24個月 Niou=PI@  
電子束分辨率 y M , hF  
zui佳工作距離下 T$GhE  
· 30keV 下 STEM  0.7nm Da_g3z  
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm M