微納米結(jié)構(gòu)分析FIB介紹： |d7$*7TvV  
電子光學(xué) )%Ru#}1X6  
NICo非浸沒(méi)式超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描鏡筒，配有: b |7ja_  
· 高穩(wěn)定性肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍，用于提供穩(wěn)定的高分辨率 分析電流 [pgZbOIN37  
· 60 度雙物鏡透鏡，支持傾斜較大的樣品 [VSU"AJ
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· 自動(dòng)加熱式光闌，可確保清潔和無(wú)接觸式更換光闌孔 v-`h>J!Nx  
· 連續(xù)電子束電流控制和優(yōu)化的光闌角度 jm3G?Vnq  
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