鬼像是由一個(gè)或多個(gè)折射面反射引起的。SYNOPSYS 可以對(duì)兩種類型進(jìn)行評(píng)估和控制:鬼像程序可以顯示在圖像表面上的表面組合對(duì)鬼像圖像負(fù)責(zé)，并且 BGI可以評(píng)價(jià)在透鏡系統(tǒng)內(nèi)的另一個(gè)位置處形成的鬼像圖像的特性。 Dy08.Sss  
為了控制近軸圖像中鬼像彌散斑的圖像的大小，輸入是 'nmGHorp  
HU0.)tD  
M TAR WT A PGHOST JREFH JREFL ucCf%T\:  
M TAR WT A PUGHOST JREFH JREFL /2^L;#  
第一個(gè)是 PGHOST，用于控制物體空間中一個(gè)點(diǎn)的近軸鬼像的彌散斑大小。這是通常的鬼像情況，其中在視場(chǎng)的一部分中的亮物體在另一部分中形成鬼像圖像。 %VHy?!/  
第二種類型 PUGHOST 用于控制入瞳上的點(diǎn)的鬼像圖像的大小。 mF~T?L"  
假設(shè)由表面 15 和表面 9 的反射產(chǎn)生的鬼像在圖像平面處清晰地聚焦。鬼像越小越清晰，你可以通過(guò)增加彌散斑的大小來(lái)降低它的強(qiáng)度。假設(shè)你想讓鬼像的半徑不小于 5 毫米。以下是如何在 AANT 文件輸入中將其定位為這個(gè)值: 0TN28:hcD  
M 5 1 A PGHOST 15 9 ,BdObx  
由于較大的鬼像不是缺陷，因此提供單側(cè)像差常常較好: q(sTKT[V  
LL 5 .1 4 1 +LHU}'|  
A PGHOST 15 9 d_[H|H9i6  
`Fqth^RK?p  
在這里，如果虛半徑為 5.0，缺陷值為 0.1;如果半徑為 4.0，缺陷值為 1.0。注意，像差的返回值總是正的，因此目標(biāo)值也應(yīng)該是正的。 Ou[K7-m%&  
如果使用此特性進(jìn)行優(yōu)化，請(qǐng)不要打開(kāi)開(kāi)關(guān) 47。該選項(xiàng)用于對(duì)單個(gè)鬼像進(jìn)行詳細(xì)分析，如果該開(kāi)關(guān)設(shè)置用于優(yōu)化，則會(huì)產(chǎn)生大量不必要的顯示輸出。 U32$9"  
與 GHOST 命令類似，該特征將在開(kāi)關(guān) 49 處于 on(但不用于 PUGHOST)時(shí)通過(guò)所估計(jì)的衍射斑半徑增大所計(jì)算的近軸鬼像半徑。 EEe$A?a;  
你也可以控制一個(gè)在鏡頭系統(tǒng)中形成的鬼像的大小(一個(gè)"隱藏的鬼像")這在高光焦度激光系統(tǒng)中是有用的，在高光焦度激光系統(tǒng)中，來(lái)自透鏡表面的鬼像可能會(huì) <^S\&v1C_  
對(duì)元件造成嚴(yán)重的聚焦。這種控件的輸入是 Y;w|Fvjj+  
M TAR WT A BGI JREFL JHOT oZ{,IZ45  
JREFL 是反射光線的表面，而 JHOT 則是你想要監(jiān)測(cè)光通量來(lái)防止損傷的表面。 dJuy