摘要 k1~nd
=p  
RZcx4fL}x  
在激光掃描系統(tǒng)中，F(xiàn)-Theta鏡頭通常被設(shè)計(jì)用于提供高性能。使用此類透鏡，在目標(biāo)平面上的聚焦點(diǎn)位移與焦距和掃描角度的產(chǎn)生成正比。這使得它們成為基于Galvo掃描器的激光材料處理系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。在VirtualLab Fusion中掃描源的幫助下，通過測量實(shí)際光斑位置與期望值之間的偏差和不同角度下光斑的大小，分析了給定F-Theta透鏡的性能。 75QXkJu  
xCmI7$uQ#  

圖片:1-200603230602A2.png

>"PqQO  
)'/nS$\E:  
建模任務(wù) x mrugNRg  
X#f+m) S  

圖片:1-200603230A3492.png

+=,4@I%  
%_%f#S  
性能評估——光斑直徑測量 J?|K
#<%  
wfU&{7yt  

圖片:1-200603230GYE.png

q9g[+*9]$  
\E ? iw.}  
性能評估——光斑位置偏差 I8pv:>EhC  
3.K{T  

圖片:1-200603230J03N.png

KV)Hywl`  
5kRwSOG%'  
走進(jìn)VirtualLab Fusion O,V6hU/ *  
1DI"LIL  

圖片:1-200603230Q3435.png

a V+o\fId  
S1x.pLHj8  
VirtualLab Fusion的工作流程 B~'VDOG$Z  
buxI-wv  
 從Zemax OpticStudio®導(dǎo)入透鏡系統(tǒng) <?=mLOo=  
- 從Zemax導(dǎo)入光學(xué)系統(tǒng) [用例] ^R8U-V8:  
)$Dcrrj  
 分析實(shí)際透鏡系統(tǒng)的成像性能 pJ)+}vascR  
- 分析高NA物鏡聚焦 [用例] {YO%JTQ  
uZ=UBir  
 利用參數(shù)運(yùn)行檢查不同參數(shù)的影響
jU3;jm.)  
- 參數(shù)運(yùn)行文檔的使用 [用例] XeIUdg4>R  
Zh fD`@>&  

圖片:1-200603230T3256.png

>TY5ZRB  
S$kuhK>W!  
VirtualLab Fusion技術(shù) s&QBFyKtJ  
   #?b^B~ #  

圖片:1-200603230Z9E7.png

0F0Q=dZ  
foP>w4pB  
文件信息 \+evZ{Pu  
Fv7%TK{oe  

圖片:1-200603230941246.png

zb~MF_