摘要 1*C:hg@  
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在激光掃描系統(tǒng)中，F(xiàn)-Theta鏡頭通常被設(shè)計(jì)用于提供高性能。使用此類透鏡，在目標(biāo)平面上的聚焦點(diǎn)位移與焦距和掃描角度的產(chǎn)生成正比。這使得它們成為基于Galvo掃描器的激光材料處理系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。在VirtualLab Fusion中掃描源的幫助下，通過(guò)測(cè)量實(shí)際光斑位置與期望值之間的偏差和不同角度下光斑的大小，分析了給定F-Theta透鏡的性能。 vOos*&  
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性能評(píng)估——光斑直徑測(cè)量 7%{R#$F  
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性能評(píng)估——光斑位置偏差 BX@pt;$ek7  
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