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1. 摘要 n|G x29 E -ahSFBZlg 高NA物鏡廣泛用于光刻，顯微等技術(shù)。因此，聚焦仿真中考慮光的矢量性質(zhì)至關(guān)重要。VirtualLab可以非常便捷地對此類鏡頭進行光線追跡和場追跡分析。通過場追跡，可以清楚地觀察由于矢量效應(yīng)引起的聚焦光斑失對稱現(xiàn)象。利用相機探測器和電磁場探測器能夠?qū)劢箙^(qū)域進行靈活全面的研究，進而加深對矢量效應(yīng)的理解。 bnso+c A
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jacp':T 2. 建模任務(wù) -pW nO9q
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 ba= -F4? 9qhX\, h 3. 概述 <W,M?r+
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示例系統(tǒng)包含了高數(shù)值孔徑物鏡 RnvPqNs
下一步，我們將闡述如何遵循VirtualLab中推薦的工作流程執(zhí)行示例系統(tǒng)的仿真。 Dd1\$RBo
PS" ,
 L4fM?{Ic:s ;7Hse^Oc 4. 光線追跡仿真 W tT*
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首先，選擇“Ray Tracing System Analyzer”作為仿真引擎。 }8H_^G8
點擊“Go!”。 Ts+S>$
隨即獲得3D光線追跡結(jié)果
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然后，選擇“Ray Tracing”作為仿真引擎。 !=C74$TH
點擊“Go!”。 L7~9u|7a#
隨即獲得點列圖(2D光線追跡結(jié)果)。 [8-
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