摘要：為了在保證結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的前提下，實(shí)現(xiàn)衍射光柵精密測(cè)量系統(tǒng)的大量程、高精度、多維度測(cè)量，設(shè)計(jì)了能夠同時(shí)測(cè)量位移和角度的五維自由度衍射光柵精密測(cè)量系統(tǒng)。基于利特羅對(duì)稱式光路結(jié)構(gòu)，采用高刻線密度的一維衍射光柵以及外差干涉原理實(shí)現(xiàn)了沿光柵矢量方向和光柵法線方向的二維位移測(cè)量；通過(guò)引入高精度的位置靈敏探測(cè)器，結(jié)合±1級(jí)衍射光與光柵之間的角度變化關(guān)系實(shí)現(xiàn)了對(duì)光柵俯仰、偏擺和滾轉(zhuǎn)三個(gè)維度的角度誤差測(cè)量。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：該衍射光柵精密測(cè)量系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)分辨力優(yōu)于4 nm的二維位移測(cè)量以及分辨力優(yōu)于1″的三維角度測(cè)量，其位移測(cè)量范圍只受限于光柵的尺寸，量程大大增加。該衍射光柵精密測(cè)量系統(tǒng)在精密測(cè)量領(lǐng)域有重要意義。 bAl0z)p
 
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關(guān)鍵詞：衍射光柵；精密測(cè)量；五維自由度