摘要：為了在保證結(jié)構(gòu)簡單的前提下，實現(xiàn)衍射光柵精密測量系統(tǒng)的大量程、高精度、多維度測量，設(shè)計了能夠同時測量位移和角度的五維自由度衍射光柵精密測量系統(tǒng)。基于利特羅對稱式光路結(jié)構(gòu)，采用高刻線密度的一維衍射光柵以及外差干涉原理實現(xiàn)了沿光柵矢量方向和光柵法線方向的二維位移測量；通過引入高精度的位置靈敏探測器，結(jié)合±1級衍射光與光柵之間的角度變化關(guān)系實現(xiàn)了對光柵俯仰、偏擺和滾轉(zhuǎn)三個維度的角度誤差測量。實驗結(jié)果表明：該衍射光柵精密測量系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)分辨力優(yōu)于4 nm的二維位移測量以及分辨力優(yōu)于1″的三維角度測量，其位移測量范圍只受限于光柵的尺寸，量程大大增加。該衍射光柵精密測量系統(tǒng)在精密測量領(lǐng)域有重要意義。 p9fx~[_5/  
zGA#7W2?0  
關(guān)鍵詞：衍射光柵；精密測量；五維自由度