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    [原創(chuàng)]如何分析部分干涉成像系統(tǒng) （光刻機成像系統(tǒng)） [復(fù)制鏈接]

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    離線markborn
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-06-28
    如何分析部分干涉成像系統(tǒng) （光刻機系統(tǒng)） a5pl/d  
    VIz(@  
    在光刻應(yīng)用中，所使用的光源不是完全相干的，如何在晶片上分析部分相干成像系統(tǒng)中的掩模? U;#KFZ+~  
    在這里給大家分享一個案例， 希望可以幫到大家。     -n.m "O3  
       ,fp+nu8,  
    PP$sdmo  
    這里是一步一步的如何在ZEMAX 中操作：https://sot.com.sg/coherent-imaging/ n"htx|v  
           4%J0e'iN  
    這里是案例的ZEMAX 文件： 備注： 我用的ZEMAX 是20年版本， 如果您版本過低，可能無法正常打開， 請諒解！ q13fmK(n-5  
    :oZ<[#p"*  
    如果不能打開文件， 請告知我， 我轉(zhuǎn)發(fā)給你。   DLrV{8%W  
    ~D9Cu>d9  
    回帖是對我分享的一個鼓勵， 謝謝回帖！  
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    光學(xué)輝 光幣 +1 優(yōu)秀文章，支持！ 2022-07-31
    sxwpdpd 光幣 +1 優(yōu)秀資料，加分！ 2020-08-03
    天藍色3230 光幣 +5 - 2020-06-29
     
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2020-06-29
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    離線vurtne_000
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2020-06-30
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    離線17310581236
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2020-07-03
    感謝分享 XYo,5-  
    離線huangyang
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2020-07-08
    呦西呦西
    離線woshiyiyun
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2020-07-20
    好東西謝謝
    離線xxma94
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2020-07-27
    謝謝分享 學(xué)習(xí)學(xué)習(xí) [Fr](&Tx  
    離線木子示羊
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2020-07-27
    感謝分享
    離線bluelalal
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2020-07-28
    哇偶，正好需要 eI1zRoIl-  
    離線sxwpdpd
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2020-08-03
    學(xué)習(xí)一下，學(xué)做尚光人。 =2p?_.|'