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摘要 ~Pq(Ta \LX!n!@
,MkldCV hs'J'~a 干涉測量法是一項用于光學(xué)測量的重要技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、機(jī)械和熱變形的高精度測量。作為一個典型示例,在非序列場追跡技術(shù)的幫助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的馬赫-澤德干涉儀。該例證明了光學(xué)元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。 :2#8\7IU^' "Uy==~ 建模任務(wù) cR.[4rG' d4@\5<
d5?"GFy tEEeek(! 由于組件傾斜引起的干涉條紋 4j9 M
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Gt{'` P,&9 6n9;t\'Gt 由于偏移傾斜引起的干涉條紋 d0(GE4+/ _y~H#r9:
 nv WTx4oy
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