國(guó)產(chǎn)18寸導(dǎo)體級(jí)單晶硅棒研制成功 用于28nm制程
近日,在Semicon China2020上,新美光(蘇州)半導(dǎo)體科技有限公司發(fā)布了450mm(18寸)11個(gè)9純度的半導(dǎo)體級(jí)單晶硅棒。據(jù)新美光CEO夏秋良介紹,450mm半導(dǎo)體單晶硅棒采用國(guó)際最先進(jìn)MCZ技術(shù),代表國(guó)際先進(jìn)水平,改變國(guó)內(nèi)無自主450mm半導(dǎo)體級(jí)單晶硅棒的局面。將在28nm以下晶圓廠實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代。
2019年12月,新美光完成了數(shù)千萬元pre-A輪融資,由陜投成長(zhǎng)基金領(lǐng)投,2020年6月份,又迅速的完成了新的一輪融資,由安豐創(chuàng)投領(lǐng)投。目前在建2萬平米廠房,預(yù)計(jì)2021年4月封頂,2021年年底產(chǎn)線投產(chǎn)。 擴(kuò)展閱讀:晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料,制作晶圓需要將單晶硅棒進(jìn)行切段,滾磨,切片,倒角,拋光,激光刻,包裝而成。 而單晶硅棒的制造則需要純度為99.9999%的電子級(jí)別硅在1400 ℃高溫中溶解,然后在溶液中種入籽晶。隨后慢慢拉出形成圓柱形單晶硅棒。 電子級(jí)別硅的提純則需要把砂石放在2000℃的高溫中與碳源發(fā)生反應(yīng)。生成純度為98%的硅(冶金級(jí)硅),隨后把粉碎的冶金級(jí)硅與氣態(tài)的氯化氫進(jìn)行氯化反應(yīng),生成液態(tài)的硅烷。通過蒸餾和化學(xué)還原工藝,得到了純度為99.99999%的多晶硅。 此次新美光(蘇州)半導(dǎo)體科技有限公司自主生產(chǎn)的450mm的半導(dǎo)體級(jí)單晶硅棒,在當(dāng)下有十分重要的戰(zhàn)略意義。 |