光學(xué)干涉裝置廣泛用于精密的表面或波前測(cè)試和細(xì)節(jié)分析,特別是菲索干涉儀作為工業(yè)上應(yīng)用最廣泛的表面輪廓檢測(cè)技術(shù)之一,正占據(jù)著重要的地位。我們?cè)?span onclick="sendmsg('pw_ajax.php','action=relatetag&tagname=VirtualLab',this.id)" style="cursor:pointer;border-bottom: 1px solid #FA891B;" id="rlt_7">VirtualLab Fusion中構(gòu)建了一個(gè)基于斐索干涉儀的測(cè)試
光學(xué)系統(tǒng),使用幾種類型的表面作為測(cè)試對(duì)象,并觀察不同的干涉條紋。此外,還介紹了用于
鏡頭測(cè)試的馬赫-曾德爾干涉儀。
x7j#@C Dg&84,bv^ 用于光學(xué)測(cè)試的菲索干涉儀 LQ+/|_(.
Fn4v/)*H 利用非序列場(chǎng)追跡技術(shù)建立了菲索干涉儀,給出了不同測(cè)試表面的干涉條紋。 T1LYJ]5
)2}R1K> 馬赫-曾德爾干涉儀
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v%Q5O4 我們?cè)赩irtualLab Fusion中構(gòu)建了馬赫-曾德爾干涉儀,并演示了元件的傾斜和偏移對(duì)干涉條紋的影響。 tFN >]`Z n3^(y"q
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