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摘要 &J_|P43 WIXzxI<) 當用近軸光照明時,亞波長光柵僅產(chǎn)生一個衍射級,因此在這種情況下無法成圖像。為了克服這一問題,可以使用非傍軸照明。如在此示例中,采用高NA聚光透鏡來為具有不同周期的光柵提供高度聚焦的照明,并且該衍射場將由另一個高NA物鏡采集。VirtualLab可以模擬這樣的成像過程,包括使用傅立葉模態(tài)法對亞波長光柵進行嚴格模擬。 5nr}5bum ,~FyC_%*
#lQbMuR ics 1. 建模任務(wù) !%NxSJ p2PD';" Z!C\n[R/ x{u_kepv[k 2. 結(jié)果 !o*BRR* Qp<?[C}'W %}P^B^O qt}vM*0}V EuqmA7s8A =/J4(#Xb 3. 文件和技術(shù)信息 r_]wa VG+Yhm<SL .G1NY1\ jHBn^Nly g?UG6mFbE VX:15705182053 Y>EwU
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