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    [推薦]GLAD：光刻成像系統(tǒng)的建模 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-08-19
    概述 $45.*>,  
    該系統(tǒng)由一個(gè)聚光鏡、一個(gè)傾斜球體和一個(gè)Schwartzchild設(shè)計(jì)的中繼鏡組成。光源被成像到中繼鏡的光瞳中。光束在物體掩模處會(huì)聚，在中繼透鏡的光瞳處形成點(diǎn)像。在中繼透鏡的瞳孔處，多條條紋圖案將形成一個(gè)中心波瓣和側(cè)波瓣。如下圖所示： k<CbI V  
    !c{F{ t-a  
     掩模上的條形圖案在中繼瞳孔中產(chǎn)生旁瓣 2ZEGE+0  
     窄條產(chǎn)生寬的旁瓣，僅部分通過中繼入口瞳孔 q mv0