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    [推薦]GLAD：光刻成像系統(tǒng)的建模 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-08-19
    概述 Q]N&^ E  
    該系統(tǒng)由一個聚光鏡、一個傾斜球體和一個Schwartzchild設(shè)計的中繼鏡組成。光源被成像到中繼鏡的光瞳中。光束在物體掩模處會聚，在中繼透鏡的光瞳處形成點像。在中繼透鏡的瞳孔處，多條條紋圖案將形成一個中心波瓣和側(cè)波瓣。如下圖所示： u4SL:IH{D  
    !\BZ_guz  
     掩模上的條形圖案在中繼瞳孔中產(chǎn)生旁瓣 =_ |G q|  
     窄條產(chǎn)生寬的旁瓣，僅部分通過中繼入口瞳孔 oU\7%gQ  
     寬條產(chǎn)生較窄的旁瓣，更容易通過中繼入口瞳孔 ?-mOAHW0q  
     部分通過旁瓣會產(chǎn)生部分解析 lbIPtu