摘要 eTt{wn;6  
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因為傾斜光柵在特定衍射級中具有高效率，故通常被用于將光耦合到光學(xué)光波導(dǎo)中。 如今，它們經(jīng)常應(yīng)用于增強和混合現(xiàn)實應(yīng)用中。 本案將展示如何使用VirtualLab Fusion對文獻中的某些傾斜光柵的幾何形狀，具體參數(shù)如傾斜角度，填充因子和調(diào)制深度進行分析。 此外，本案例還研究了不同入射角對衍射效率的影響。 8g/r8u~  
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建模任務(wù) {9hhfI#3_  
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衍射效率與相對深度 %Ip=3($Ku[  
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在VirtualLab Fusion中通過傅里葉模態(tài)法（FMM）（也稱為RCWA）進行仿真。 5;9.&f  
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參考文獻：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond l> >BeZ  
Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997) &jDRRT3  
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衍射效率與傾斜角度 Fh)YNW@  
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在VirtualLab Fusion中通過傅里葉模態(tài)法（FMM）（也稱為RCWA）進行仿真。 RHq r-%  
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參考文獻：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997) EKT"pL-EY  
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衍射效率與填充因子 &J=x[{R  
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在VirtualLab Fusion中通過傅里葉模態(tài)法（FMM）（也稱為RCWA）進行仿真。 UKSI
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