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    [推薦]檢查微型晶片的光學(xué)系統(tǒng) [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-10-16
    成像系統(tǒng)>包括光柵 |23F@s1  
    ]a $6QS  
    任務(wù)/系統(tǒng)說明 VtBC~?2U)B  
    ' \JE>#  
    6g(;2gY  
    L9GLj Rp-  
    亮點(diǎn) .<x6U*)\O  
    wk(25(1q  
     Y(Q 0m|3P  
    M4^G3c<  
     在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中，包含光柵（如，非常大的數(shù)值孔徑(NA)） eYOY   
     嚴(yán)格分析光柵衍射效率 =i/Df ?  
     考慮入射光的方向分布 tOwn M1 :(  
    Kv_2=]H  
    說明：光源 ^y+k6bE  
    g4K+AK  
    i:lc]B  
    $)lkiA&;  
    說明：光束分束器 +^.Yt0}  
    ^q7V%{54  
    /MZ<vnN7f  
    I _nQTWcm  
    說明：檢測(cè)透鏡系統(tǒng) ah>c)1DA*H  
    rQ*+ <`R}  
    M/ 3;-g  
    c&['T+X  
    說明：微型晶片 0'^M}&zCi  
    Kb~nC6yJc  
    |t,sK aL