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光整形>衍射光學(xué) !VXs
yH3r5 5x}XiMM 任務(wù)說明 `-J$7)d@ )}[:.Zg,3/ dZ"B6L!^( 'cpO"d?{ 靈活地導(dǎo)出制造數(shù)據(jù): p[&6hXTd - 平滑的界面 Shm$>\~= - 量化界面 @}r2xY1 - 鏡子/棱鏡/光柵單元陣列 K@0/iWm* D rMG{Yiu 亮點 e]qbh_A 導(dǎo)出各種表面形狀的制造數(shù)據(jù) KBO{g:" 導(dǎo)出像光刻制造技術(shù)的二元掩膜的量化界面 Vo; B#lK pp!>:
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