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光整形>衍射光學(xué) Y(y9l{' 5ZA%,pH>Jq 任務(wù)說明 kppRQ Q*[ >fye^Tx d# 3tQ*G/ 5b#6 Y 靈活地導(dǎo)出制造數(shù)據(jù): V./w06;0 - 平滑的界面 #eC;3Kq#- - 量化界面 -L9R&r#_e - 鏡子/棱鏡/光柵單元陣列 4VNb`!e b.4Xn0-M 亮點(diǎn) Q==v!"Gi| 導(dǎo)出各種表面形狀的制造數(shù)據(jù) Q
H_W\W 導(dǎo)出像光刻制造技術(shù)的二元掩膜的量化界面 ,%h!%
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