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上海光機(jī)所在氧化銦錫薄膜激光退火技術(shù)研究中獲進(jìn)展

發(fā)布:cyqdesign 2020-11-04 11:07 閱讀:1329
近日,中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所薄膜光學(xué)實(shí)驗(yàn)室在1064nm準(zhǔn)連續(xù)激光退火氧化銦錫(ITO)薄膜研究中取得新進(jìn)展,發(fā)現(xiàn)準(zhǔn)連續(xù)激光退火誘導(dǎo)ITO薄膜表面形貌的變化和溫升的依賴關(guān)系。相關(guān)成果發(fā)表在《光學(xué)材料快報(bào)》(Optical Materials Express)上。 nFP2wvFM  
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