近日,中國(guó)科學(xué)院上海
光學(xué)精密機(jī)械研究所
薄膜光學(xué)實(shí)驗(yàn)室在1064nm準(zhǔn)連續(xù)
激光退火氧化銦錫(ITO)薄膜研究中取得新進(jìn)展,發(fā)現(xiàn)準(zhǔn)連續(xù)激光退火誘導(dǎo)ITO薄膜表面形貌的變化和溫升的依賴關(guān)系。相關(guān)成果發(fā)表在《光學(xué)
材料快報(bào)》(Optical Materials Express)上。
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