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案例139(3.2) 7tOOruiC ;-=Q6Ms8 1.關(guān)于公差模擬 bWN%dn$$M • 公差仿真的目的是為了研究制造和對(duì)齊公差對(duì)一個(gè)光學(xué)系統(tǒng)性能的影響。 lW^bn(_gQ • 單參數(shù)的公差模擬沒(méi)有考慮多個(gè)不同參數(shù)之間的補(bǔ)償或放大效應(yīng)對(duì)系統(tǒng)性能的影響。 EP.nVvuL • VirtualLab Fusion的參數(shù)運(yùn)行文檔提供了幾種模式,允許對(duì)任意數(shù)量的參數(shù)進(jìn)行公差分析。 =yv_i]9AN ~$1Zw&X 2.參數(shù)變化的模式 NZ(c>r6 為了在公差分析中考慮多個(gè)參數(shù),可以使用以下方法: ;b=3iT-2" • 標(biāo)準(zhǔn):基于設(shè)置的起始值和終止值,所以指定的參數(shù)以相同的步數(shù)進(jìn)行線(xiàn)性的變化。 2s{PE • 編程:該模式允許任意形式的參數(shù)變化。 nezdk=8J/ • 掃描:系統(tǒng)性檢查并生成所有的參數(shù)組合,一般需要耗費(fèi)大量的計(jì)算機(jī)內(nèi)存和時(shí)間。 G.2ij%Zz • 隨機(jī):蒙特卡羅模擬,即不同參數(shù)的隨機(jī)組合。如果僅僅進(jìn)行幾次迭代,那么僅能夠大概的了解系統(tǒng)的特性。之后可以進(jìn)行更多次的迭代來(lái)得到更有意義的結(jié)論。 mX78Av.z! I g/SaEF 3. VirtualLab Fusion中的公差模擬 G3{t{XkV • 上面描述的所有方法都可以由VirtualLab Fusion的參數(shù)運(yùn)行實(shí)現(xiàn)。 SST1vzm! • 這個(gè)案例使用了稍微修改過(guò)的案例LBS.001的光束整形器系統(tǒng),應(yīng)用單參數(shù)和蒙特.卡羅方法來(lái)對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行公差分析。 T:ye2yg • +u1meh3u >#}MDwKZD 4.建模任務(wù) <qD/ #$ P q\m8iS,w )3_I-Ia z4f\0uQ 分析系統(tǒng)的以下公差: G=lcKtMdg Qp{gV Ys v\Zni4 M)Iu' 5. 模擬對(duì)齊公差 }`g:)gJ &61;v@ "4c
?hH:C +NGjDa (pBOv:6 • 模擬元件的對(duì)齊公差必須在Stored Function元件的Position/Orientation標(biāo)題下選擇Isolated Positioning標(biāo)簽并勾選Use Isolated Translation以激活公差分析功能。 Ha l,%W~e • 公差值由Parameter Run進(jìn)行改變。在元件對(duì)話(huà)框中的值可以忽略。 Bl5*sfjG ]3@6o*R; 6.模擬刻蝕深度公差 H"|xG;cf K31G>k@ }mRus<Ax 3$Ew55 }q1@[
aE • 模擬掩膜刻蝕深度誤差必須在Stored Function元件的Function頁(yè)面中進(jìn)行激活。 Pl_4;q!$ • 公差值必須由Parameter Run進(jìn)行改變。忽略元件對(duì)話(huà)框中的相關(guān)設(shè)置。 +0U{CmH • 公差值1代表的是理想的刻蝕深度。
%{\|/#>: 0HUSN_3F 7. 單參數(shù)變化 aC0[
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