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案例190（3.0） ^+JpI*,
ov= [g l 該應(yīng)用案例描述了具有亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴(yán)格分析以及一個(gè)兩步優(yōu)化。此外，對(duì)圓柱直徑與高度的影響進(jìn)行了分析。 *:q3<\y{
! `k{Ga 1. 建模任務(wù) }' mBqn
&sp7YkaW 3+<}Hm+ 2. 建模任務(wù):介質(zhì)參數(shù) /.<T^p@\& z\,g %u41  (>x4X@b
@ N,EoSb : 優(yōu)化過(guò)程中保持不變的參數(shù)： jB*%n B*x
Hb KJ&^ 1. 圓柱的水平間距：250nm ?q(7avS9 2. 圓柱的垂直間距：125nm ?v>!wuiP 3. 列距：125nm / #z5bo
y#:_K(A" k 優(yōu)化過(guò)程中變化的參數(shù)： %pNK ? M+
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