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    [分享]柱型抗反射結構的嚴格分析與優(yōu)化 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-11-30
    案例190（3.0） /qx0TDB  
     Gu'rUo3Do  
    該應用案例描述了具有亞波長結構尺寸的柱型抗反射光柵的嚴格分析以及一個兩步優(yōu)化。此外，對圓柱直徑與高度的影響進行了分析。 5o6>T!  
     h~p>re  
    1. 建模任務 m^H21P"z  
     L dm?JrU  
    +> WM[o^I  
    2. 建模任務:介質參數 (d<4"!  
    Mnz!nWhk  
    3q'&j, ,^  
    3. 結構參數 @~#Ym1{W  
     B7]C]=${m  
    優(yōu)化過程中保持不變的參數： ;Wl+ zw  
     V\{tmDE  
    1. 圓柱的水平間距：250nm ,WG<hgg-U)  
    2. 圓柱的垂直間距：125nm B?)@u|0  
    3. 列距：125nm 6X\ 2GC9  
     E6,4RuCK  
    優(yōu)化過程中變化的參數： &CIVL#];e  
     TP"1\O  
    1. 圓柱高度(圓柱直徑= ) >9f%@uSM$3  
    2. 圓柱直徑(柱高來自1中優(yōu)化結果) s7l;\XBy  
    OzQ -7|m'J  
     13+<Q \  
    4. 3維柱型結構的建模 \N4 y<  
    v