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    [分享]柱型抗反射結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-11-30
    案例190（3.0） /vPr^Wv  
     / <+F/R'=O  
    該應(yīng)用案例描述了具有亞波長結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴(yán)格分析以及一個(gè)兩步優(yōu)化。此外，對(duì)圓柱直徑與高度的影響進(jìn)行了分析。 (_Th4'(@Y  
     braI MIQ`  
    1. 建模任務(wù) bduHYs+rq  
     KuF>2KX~Y  
    w3;T]R*  
    2. 建模任務(wù):介質(zhì)參數(shù) ./<giTR:p  
    lpjby[S  
    94?/Rhs5  
    3. 結(jié)構(gòu)參數(shù) T[-Tqi NT  
     \0)2 u[7  
    優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù)： F5+!Gb En  
     /Ri-iC >  
    1. 圓柱的水平間距：250nm ($!g=