-
UID：317649
-
- 注冊時間2020-06-19
- 最后登錄2025-02-21
- 在線時間1734小時
-
-
訪問TA的空間加好友用道具
|
案例87.01：粗糙表面光柵的模擬 `Uj?PcS_ A{x
7 即將模擬一個具有隨機粗糙表面的正弦光柵。此模擬是通過使用VirtualLab中的一般二維光柵（General Grating 2D）元件堆棧中的可編程光學(xué)界面來完成的。 Guw|00w,Q$
v#]v,C-* 關(guān)鍵詞：光柵，光柵工具箱，粗糙表面，可編程光學(xué)界面，光柵元件 zZ"U9!T
56SS
>b 要求工具箱：光柵工具箱 ~gWd63%8x
qJXsf M6 相關(guān)應(yīng)用案例：案例090.01，案例246.01 pNE\@U|4E k7|z$=zY 一、模擬任務(wù)： fb.\V]K 二、光柵的描述 h<' 5q&y
Vm ;Q w 1. 原始表面輪廓是一個平滑的正弦曲線輪廓，其周期為5μm，調(diào)制深度為468nm（使得最內(nèi)側(cè)三個級次的效率相同）。 27E9N O =
t_>bTcsU 2. 該正弦曲線輪廓疊加入一個隨機的變化，由VirtualLabTM中的可編程光學(xué)界面來模擬。 tK|9q s<%
-N7L #a 3. 用于模擬粗糙度的該代碼片段有兩個物理參數(shù)：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和總高度調(diào)制（Total Height Modulation）。使用種子（Seed）變量可以確定任意數(shù)目的生成器以獲得一個可再生的結(jié)果。 ko EX4q
lA n+gDP 4. 變量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” `o8{qU,*]N
G</ I%qM 下面將展示所得高度輪廓以及所得效率的圖，其“總的高度調(diào)制（Total Height Modulation）”為50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為不同的值。 LX\*4[0%K
Xvj=*wg\Y 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為0 tdnXPxn[ 5u|=;Hz*) $rpTs?j*K$ e4=FU&RpNH 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為100nm SQt|(r) BnaU)E h ?7kV+{. 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為500nm vf' cx :m p 37zz4 UhSh(E8p> 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為1000nm \%Ah^U)gS juCG?}di; 9jMC |oE 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為1500nm wAu[pWD'6; EO].qN-8
1J-Qh<Q 5. 參數(shù)運行 )ew[ Ak|
C,{F0-D 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一個在“總的高度調(diào)制（Total Height Modulation）”為50nm時，隨“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”變化的結(jié)果。 y^ X\^Kq
X%a;i6pq 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為1.5um時，將“總的高度調(diào)制（Total Height Modulation）”設(shè)置為變量。下面將給出這些變量的模擬結(jié)果。 h
eE'S/ &R'w-0k_ 6. 具有不同的“總的高度調(diào)制（Total Height Modulation）”的結(jié)果 rmPne8D=c( i!Dh &XT
coF T2Pq 8
)mjy!, 7. 總結(jié) DIG0:)4R.
9U|<q 1) VirtualLabTM可以對粗糙高度輪廓表面的光柵進行嚴格模擬。 1iNsX \M
's>#8;X 2) 可編程光學(xué)界面可以用來模擬用戶自定義高度輪廓的光柵。 PG6[lHmi
iY
^{wi~? 3) 大的調(diào)制（在x-和y-方向）會造成原始衍射結(jié)果強烈的偏差。 ).NcLJ w_ Ig1l ol:;
c
|
