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案例87.01:粗糙表面光柵的模擬 u62H+'k}F ;hQ[- 即將模擬一個具有隨機(jī)粗糙表面的正弦光柵。此模擬是通過使用VirtualLab中的一般二維光柵(General Grating 2D)元件堆棧中的可編程光學(xué)界面來完成的。 Uh/=HNR k$$SbStD 關(guān)鍵詞:光柵,光柵工具箱,粗糙表面,可編程光學(xué)界面,光柵元件 8F[];LF> DuC#tDP 要求工具箱:光柵工具箱 %n$f#Ml_r An_(L*Qz 相關(guān)應(yīng)用案例:案例090.01,案例246.01 k]ZE j/y~ Do4hg $:40 一、模擬任務(wù): 4U dk# 二、光柵的描述 (BY 0b%^ @lB{!j&q 1. 原始表面輪廓是一個平滑的正弦曲線輪廓,其周期為5μm,調(diào)制深度為468nm(使得最內(nèi)側(cè)三個級次的效率相同)。 Q0xGd(\ O
_9r-Zt^ 2. 該正弦曲線輪廓疊加入一個隨機(jī)的變化,由VirtualLabTM中的可編程光學(xué)界面來模擬。 x<I[?GT= #`y[75<n 3. 用于模擬粗糙度的該代碼片段有兩個物理參數(shù):最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和總高度調(diào)制(Total Height Modulation)。使用種子(Seed)變量可以確定任意數(shù)目的生成器以獲得一個可再生的結(jié)果。 zU1D@
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