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通過從光學(xué)分析模型文件中讀取表面處方數(shù)據(jù)并編寫可由光學(xué)分析軟件讀取的宏文件來與光學(xué)分析軟件接口。SigFit編寫的宏文件將修改名義光學(xué)分析模型，以納入機械干擾的影響。這些干擾可能是表面運動和形狀變化，集成的OPD或折射率分布。
Ru4M7 % 2x~Pq_?y 熱光分析 bZpx61h| 0bteI*L 熱光分析涉及預(yù)測由于透射光學(xué)中溫度變化引起的折射率變化而引起的光學(xué)性能變化。如圖1所示，SigFit從熱有限元模型和熱光材料特性中獲取溫度分布預(yù)測值，并能夠使用兩種方法進行熱光預(yù)測：OPD積分方法和用戶定義的梯度指數(shù)方法。 H\$uRA oo* d=dHY(ms] OPD集成方法 :KS"&h{
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