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通過從光學(xué)分析模型文件中讀取表面處方數(shù)據(jù)并編寫可由光學(xué)分析軟件讀取的宏文件來與光學(xué)分析軟件接口。SigFit編寫的宏文件將修改名義光學(xué)分析模型，以納入機械干擾的影響。這些干擾可能是表面運動和形狀變化，集成的OPD或折射率分布。