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    [分享]鍍膜傾斜光柵 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-01-11
    鍍膜傾斜光柵通過VirtualLab的可編程光柵元件生成。該光柵不同厚度的反射率可以在參數(shù)運(yùn)行中（Parameter Run）進(jìn)行分析。 RD<l<+C^~  
    Zn|vT&:Hg  
    關(guān)鍵詞：光柵，鍍膜，傾斜光柵，可編程光柵，參數(shù)運(yùn)行（Parameter Run） #"=_GA^.{  
    K)N7Y=C3  
    所需工具：Grating Toolbox Basic | x/,  
    $s$z"<  
    相關(guān)Tutorials：G.001; G.014 s7#w5fe  
    建模任務(wù) R6*:Us0\FJ  
    4l560Fb'U  
    理想平面波照射 '3 5w(  
    (@>X!]{$  
    =EgiV<6vcH  
    Z[s{   
    Q3*@m  
    a=T_I1  
    鍍膜傾斜光柵 :VX?j 3qW  
    目標(biāo)平面 YD 1u  
    + v{<<  
    周期：10um aHvTbpJ  
    厚度：10um tgKmC I  
    傾斜角度：20度 uAwT)km {  
    F_$eu-y  
    光柵的參數(shù) d~u+:[\=/  
    iZ yhj%#  
    —傾斜角度                           1—（光柵）前面的介質(zhì) y".uu+hL`  
    :D`ghXj  
    —填充因子                           2—后面的介質(zhì) 17 Hdj  
    —膜層厚度                           3—膜層材料 a`|&rggN  
    —光柵厚度 bzz=8n  
    =Wn11JGh  
    tT>~;l%'  
    LzEs_B=9  
     1-!u=]JDE  
    ^(r?k_i/  
    設(shè)置層數(shù)和轉(zhuǎn)折點(diǎn) 2&S*> (  
    # XE`8$  
    *W~+Nho.A  
    2       設(shè)置層數(shù)和轉(zhuǎn)折點(diǎn)以確定膜層 -Zh`h8gX  
    ,Y6Me+5B  
    +}@1X&v:  
    2       可以通過Structure Preview 按鈕查看 21_>|EKp  
    X`YA