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    [分享]鍍膜傾斜光柵 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-01-11
    鍍膜傾斜光柵通過(guò)VirtualLab的可編程光柵元件生成。該光柵不同厚度的反射率可以在參數(shù)運(yùn)行中（Parameter Run）進(jìn)行分析。 } O:Y?Wq^  
    L_@P fI  
    關(guān)鍵詞：光柵，鍍膜，傾斜光柵，可編程光柵，參數(shù)運(yùn)行（Parameter Run） "rHcsuSEw  
    \0)v5u  
    所需工具：Grating Toolbox Basic <c; U 0! m  
    tfz"9PV80  
    相關(guān)Tutorials：G.001; G.014 TwdY6E3`  
    建模任務(wù) 92F 9)S{"  
    nF"NXYa  
    理想平面波照射 t%S2D  
    G;jX@XqZ  
    7+'&(^c  
    "`6pF8k  
     $I*<gn9  
    h^ o@=%b  
    鍍膜傾斜光柵 =lb5 #  
    目標(biāo)平面 a_z1S Z2[  
    g#*LJ `1  
    周期：10um wZe>}1t  
    厚度：10um %]"eN{Uvn  
    傾斜角度：20度 lGhhH _  
    $^K12Wcp-  
    光柵的參數(shù) $j(laD#AR  
    . DrGr:UW  
    —傾斜角度                           1—（光柵）前面的介質(zhì) h/s8".\  
    8wH1x .  
    —填充因子                           2—后面的介質(zhì) v#^