鍍膜傾斜光柵通過VirtualLab的可編程光柵元件生成。該光柵不同厚度的反射率可以在參數(shù)運(yùn)行中（Parameter Run）進(jìn)行分析。 f%0^89)  
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關(guān)鍵詞：光柵，鍍膜，傾斜光柵，可編程光柵，參數(shù)運(yùn)行（Parameter Run） #EiOC.A=  
.'C$w1[w  
所需工具：Grating Toolbox Basic 0wV!mC  
T8
k@DS  
相關(guān)Tutorials：G.001; G.014 utxT$1iJn~  
建模任務(wù) $v?+X20  
r3oAP[+n  
理想平面波照射 TTaSg\K  
 H  
&B\tcF  
EOu\7;kE9  
je1f\N45  
wkK61ah6  
鍍膜傾斜光柵 $Scb8<  
目標(biāo)平面 rK W<kQT  
cQ~}qE>I  
周期：10um W-:gU!{*#  
厚度：10um U`_(Lq%5W  
傾斜角度：20度 [Q&{#%M  
|Ui1Mm  
光柵的參數(shù) CZ*c["x2  
6/@"K HHVe  
—傾斜角度                           1—（光柵）前面的介質(zhì) bE _=L=NG  
W8j)2nKD  
—填充因子                           2—后面的介質(zhì) jZu">Eh,  
—膜層厚度                           3—膜層材料 w4U]lg<}E  
—光柵厚度 Z,/BPK
<e  
t6&6kl  
}:C4T*|  
E\Hhi.-  
K0RY2Hiw  
Cdl#LVqs  
設(shè)置層數(shù)和轉(zhuǎn)折點(diǎn) 9\RSJGx6  
Dk4Jg++  
_7
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2       設(shè)置層數(shù)和轉(zhuǎn)折點(diǎn)以確定膜層 aObWd5~  
|i'V\" hW  
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2       可以通過Structure Preview 按鈕查看 k`Nc<nN8  
WUx}+3eWv  
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實(shí)現(xiàn)可編程光柵 '"