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摘要 8TeOh1\ iKJqMES 干涉測(cè)量法是光學(xué)計(jì)量學(xué)的重要技術(shù)。 它被廣泛用于例如,表面輪廓、缺陷、高精度的機(jī)械和熱變形。 作為一個(gè)典型示例,在VirtualLab Fusion中借助非序列場(chǎng)追跡,構(gòu)建了具有相干激光光源的Mach Zehnder干涉儀。 證明了光學(xué)元件的傾斜和移位如何影響干涉條紋圖案。 |;wc8; k!0O[U ;6[6~L%K} j0; ~2W#G* 建模任務(wù) `HXv_9 s!/lQo5/ CMW4Zqau* n*wQgC'vw 元件傾斜引起的干涉條紋 tSJ# uo]xC+^ %(/E
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