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1. 摘要 j|@8VxZ NT{'BJ 高NA物鏡廣泛用于光刻,顯微等技術。因此,聚焦仿真中考慮光的矢量性質(zhì)至關重要。VirtualLab可以非常便捷地對此類鏡頭進行光線追跡和場追跡分析。通過場追跡,可以清楚地觀察由于矢量效應引起的聚焦光斑失對稱現(xiàn)象。利用相機探測器和電磁場探測器能夠?qū)劢箙^(qū)域進行靈活全面的研究,進而加深對矢量效應的理解。 8F/zrPG S~M/!Xb
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?a d (O/W`qo 2. 建模任務 le6eorK8 M-(,*6Q
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