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    [分享]使用傅里葉模態(tài)法分析閃耀光柵 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-03-05
    摘要 %zCV>D  
     (yB)rBh>n  
    可用于嚴格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中，可以設(shè)置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴格的分析、并以不同的格式分析結(jié)果（例如光柵階次匯集、單值等）。與參數(shù)運行結(jié)合使用，可以在給定的參數(shù)空間上進行掃描，以研究指定結(jié)構(gòu)在不同配置下的性能。 ,9@JBV%_  
    yv2N5IQ>{V  
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    傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA） i`hr'}x  
     ZgD%*bH*B  
    建模任務(wù) /suW{8A(E  
     5gZ6H/.  
     VvSe`E*  
    U:1cbD7|3  
    單次FMM仿真結(jié)果 znxP.=GB   
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    參數(shù)掃描（1D） 2uln)]  
    VsJ4sb7  
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