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    [分享]使用傅里葉模態(tài)法分析閃耀光柵 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-03-05
    摘要 St'3e<  
     poQY X5  
    可用于嚴格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中，可以設置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴格的分析、并以不同的格式分析結果（例如光柵階次匯集、單值等）。與參數(shù)運行結合使用，可以在給定的參數(shù)空間上進行掃描，以研究指定結構在不同配置下的性能。 -3F|)qwK  
    X 5pp8~  
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    傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA） L`3 g5)V  
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    建模任務 qm] k (/w  
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