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- 注冊時間2020-06-19
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摘要 KJ6:ZTbW Wl>$<D4mO[ 可用于嚴(yán)格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中,可以設(shè)置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴(yán)格的分析、并以不同的格式分析結(jié)果(例如光柵階次匯集、單值等)。與參數(shù)運(yùn)行結(jié)合使用,可以在給定的參數(shù)空間上進(jìn)行掃描,以研究指定結(jié)構(gòu)在不同配置下的性能。 G9c2kX.Bf yuB\Z/
IqjH 傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA) Et"B8@'P 3%V VG~[ 建模任務(wù) YjeHNPf upF^k%<y:
`SESj)W(y IlP@a[:_ 單次FMM仿真結(jié)果 @1peJJ{ jE, oEt O;
kD4J{\ E1rxuV|9 參數(shù)掃描(1D)
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