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作為衍射光學(xué)領(lǐng)域廣泛使用的方法,薄元近似(TEA)在計算薄衍射元件的衍射效率時非常有效。 但在另一方面,當衍射光柵的周期小到可以與波長相比較時,這種近似將會變得不準確。 我們選擇了兩種常用的透射光柵輪廓(正弦和閃耀),并應(yīng)用TEA和嚴格的FMM / RCWA進行分析,用來比較兩種方法的結(jié)果。 NNM+Z: |uRZT3bGyj 用于光柵建模的TEA與FMM =V(|3?N 9]^
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