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- 注冊時間2020-06-19
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作為衍射光學(xué)領(lǐng)域廣泛使用的方法,薄元近似(TEA)在計(jì)算薄衍射元件的衍射效率時非常有效。 但在另一方面,當(dāng)衍射光柵的周期小到可以與波長相比較時,這種近似將會變得不準(zhǔn)確。 我們選擇了兩種常用的透射光柵輪廓(正弦和閃耀),并應(yīng)用TEA和嚴(yán)格的FMM / RCWA進(jìn)行分析,用來比較兩種方法的結(jié)果。 #v<QbA 0ez(A 用于光柵建模的TEA與FMM
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S=\l@EW 我們同時使用TEA和FMM(也稱為RCWA)來分析兩種周期不同的光柵(正弦光柵和閃耀光柵),并比較了兩種方法的結(jié)果。 H,N)4;F<c rXA*NeA3v 閃耀光柵的傅里葉模態(tài)分析 /4xki_} ?B:a|0pf
L[=a/|)TBV 在VirtualLab Fusion中,傅里葉模態(tài)方法(FMM)可用于光柵效率的嚴(yán)格分析。 ,=l7:n M`ip~7" 3E3HL7 QQ:2987619807 ~#kT_*sw)
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