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摘要 #T08H,W/ c=<5DC&p 光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計(jì)算得到,對于光柵的每個(gè)衍射階次都給出了這兩個(gè)量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)來計(jì)算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器,可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 =6xxZy[ )26_7.| -op(26:W< lx&;?QQ 光柵詳細(xì)說明 [Mp8" b$N&sZ hIFfvUl VH6J
@m •為了演示一維光柵的光柵分析器,我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 L)3JTNiB •可以在堆棧中指定光柵參數(shù),并且在光柵組件的編輯對話框中訪問該參數(shù)。 WoWmmZ J'@`+veE 光柵階次分析器設(shè)置 Qn`Fq,uvL Yl"l|2
: •定義光柵結(jié)構(gòu)后,可以配置光柵階次分析器。 !T~C
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