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摘要 9
kTD}" %2 `bBfNI?3d* 光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計算得到,對于光柵的每個衍射階次都給出了這兩個量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)來計算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器,可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 cWX"e6 #r78Ym'aI
1oXz[V KY;uO 8Te 光柵詳細說明 5e~ j 60.[t9pk6
?HEo9/ *7 @+QYWh' •為了演示一維光柵的光柵分析器,我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 w%%6[<3% •可以在堆棧中指定光柵參數(shù),并且在光柵組件的編輯對話框中訪問該參數(shù)。 S&;T_^| )Gu0i7iN 光柵階次分析器設(shè)置 P':]A{<Z P
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