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    [分享]光柵階次分析器 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-03-09
    摘要 5C`Vno~v  
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    光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計(jì)算得到，對(duì)于光柵的每個(gè)衍射階次都給出了這兩個(gè)量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）來計(jì)算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 b9.7j!W  
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    光柵詳細(xì)說明 ZyC[w 7$I2  
    ,bzgjw+R5  
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    C\C*@9=&x  
    •為了演示一維光柵的光柵分析器，我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 :WH0=Bieh  
    •可以在堆棧中指定光柵參數(shù)，并且在光柵組件的編輯對(duì)話框中訪問該參數(shù)。 ;2BPEo>z9  
    QB* AQ5-  
    光柵階次分析器設(shè)置 =hh,yi  
    'zt}\ Dt  
    •定義光柵結(jié)構(gòu)后，可以配置光柵階次分析器。 PL\4\dXB  
    •可以指定各種輸出選項(xiàng)。 ='eQh\T)  
    •可以在光學(xué)設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對(duì)話框。 9ys[xOh WM  
    UG}"OBg/  
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    xWQQX  
    常規(guī)設(shè)置 gY-}!9kW]  
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     =%FhY^-  
    fk5pPm|MiL  
    •在“常規(guī)”選項(xiàng)卡中，可以選擇是否分析透射率和/或反射率。 !qs~j=;y3  
    •另外，可以指定是否要評(píng)估透射、吸收和反射的總和，以及是否要顯示極坐標(biāo)圖。 1RQM-0W,  
    C0e oV}  
    單個(gè)階次設(shè)置 P]4u`&  
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     v>Kv!OY:c  
    $*0XWrE  
    •在“單個(gè)階次”選項(xiàng)卡中，可以選擇是否記錄單個(gè)階次的信息。 ap|V}j C  
    •如果想使用VirtualLab Fusion的參數(shù)運(yùn)行或參數(shù)優(yōu)化來分析和優(yōu)化特定階次的光柵，則此選項(xiàng)非常有用。 F*B^#AZg  
    m<4tH5 };d  
    單個(gè)階次設(shè)置 uhmSp+%  
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