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摘要 A[oxG;9xi X6@G)68 光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計算得到,對于光柵的每個衍射階次都給出了這兩個量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)來計算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器,可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 V5LzUg] ugt|'i
t7DT5SrR 0l ]K%5# 光柵詳細說明 X}3o *]
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