空間光調制器 （SLM）是近代光信息處理系統(tǒng)中的器件，它可以對光束進行調整，并將信息加載于一維或者二維的光學數(shù)據(jù)場上，能有效的利用光的固有速度、并行性和互連能力，達到光波調制的目的，因此空間光調制器被廣泛應用于諸多光學領域。 {~GYj%-^  
Vgb *% I  
空間光調制器 ( lm&*tKm  
/'2O.d0}.  
將空間光調制器與激光加工技術結合起來，不但可以實現(xiàn)高效率、靈活的激光加工，還可以改善激光加工中存在的問題，如光斑質量以及焦深短等等。 M,5j5<7  
S{]7C?4`  
02激光加工 @Hb'8F  
1F8 W9b^D  
激光是一種強度高、方向性好、單色性好的相干光。它可以通過透鏡聚焦成直徑為幾十微米到幾微米的極小光斑，該光斑具有極高的能量密度（108~1010W/cm2）。當激光照射在工件表面時，光能被工件吸收并迅速轉化為熱能，光斑區(qū)的溫度可達10000℃以上，使材料熔化甚至氣化，這就是激光加工（LBM）。該技術是一種非接觸加工方式，主要應用于打孔、切割、打標、焊接以及表面處理等加工工藝方面。 u6V/JI}g  
eK_*2=;XRW  
激光加工示意圖 OI1ud/>h  
隨著科技的發(fā)展，激光加工逐漸發(fā)展為連續(xù)激光加工、納秒激光加工以及皮秒/飛秒加工。同時人們將其應用于微納加工領域，來實現(xiàn)微納米器件的加工。然而傳統(tǒng)的激光微納加工技術均采用逐點掃描的加工方式，加工效率無法滿足實際生產的高效率需求�？臻g光調制技術的提出，為解決該類問題提供了思路。空間光調制技術以具有靈活可靠的光場分布、可并行加工等優(yōu)勢逐步應用于激光加工技術，大大提高了加工效率。 %=we`&  
U6Z
R->:  
03應用介紹 #m{{a]zm^  
F7L