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MEMS技術(shù)發(fā)展史 MEMS技術(shù)發(fā)展的時(shí)間軸，從從1947年制造的第一個(gè)點(diǎn)接觸晶體管開始，到1999年的光網(wǎng)絡(luò)交換機(jī)結(jié)束，50多年間，MEMS通過(guò)諸多創(chuàng)新，促進(jìn)了當(dāng)前MEMS技術(shù)和納米技術(shù)的發(fā)展。 |
MEMS技術(shù)發(fā)展史MEMS技術(shù)發(fā)展的時(shí)間軸，從從1947年制造的第一個(gè)點(diǎn)接觸晶體管開始，到1999年的光網(wǎng)絡(luò)交換機(jī)結(jié)束，50多年間，MEMS通過(guò)諸多創(chuàng)新，促進(jìn)了當(dāng)前MEMS技術(shù)和納米技術(shù)的發(fā)展。 |