MEMS技術(shù)發(fā)展史 PXx:JZsju  
MEMS技術(shù)發(fā)展的時(shí)間軸，從從1947年制造的第一個(gè)點(diǎn)接觸晶體管開始，到1999年的光網(wǎng)絡(luò)交換機(jī)結(jié)束，50多年間，MEMS通過諸多創(chuàng)新，促進(jìn)了當(dāng)前MEMS技術(shù)和納米技術(shù)的發(fā)展。 G[bWjw86O  
下面關(guān)于MEMS歷史上主要的35項(xiàng)里程碑，看看你知道多少? ]RvFn~E!s  
1948年，貝爾實(shí)驗(yàn)室發(fā)明鍺晶體管(William Shockley)