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1. 摘要 9fnA
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白光干涉儀是一種非接觸測量技術(shù)，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結(jié)果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 ,Y?sfp _-!s BK+F  GDhE[of
`i) 2nNJ" 2. 建模任務 lU^;Z 6f
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# AsS$C&^ 3. 干涉條紋的變化 -4w=s|#.\
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 "vYE+ ,t{,_uP JY 4. 走進VirtualLab Fusion "vCM}F
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 SVlua@]ChU q+ KzIde|% 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 etT +
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 QVF]Ci_= h)1qp Qj 6. VirtualLab Fusion 技術(shù) C 3 hv* V}d 9f 2
 v%k9M{ 7. 文件信息 <^b7cOFQ Mypc3
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- Mach-Zehnder Interferometer PkE5|d*,
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