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訊技光電:VirtualLab Fusion獨家供應商	微小光學與微透鏡陣列	光學設計與光學元件	計算光學帶來的成像革命

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[分享]白光邁克爾遜干涉儀 [復制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2021-03-18

1. 摘要

白光干涉儀是一種非接觸測量技術，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現干涉圖樣。