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超透鏡（Metalens）結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與加工承接 一方面，通過導(dǎo)入ZEMAX的Binary 2 Surface，VirtualLab Fusion可以對功能性的MetaLens進(jìn)行建模和仿真，以研究其相位調(diào)制效果；另一方面，VirtualLab Fusion也可以通過傅里葉模態(tài)法（Fourier Modal Method，F(xiàn)MM）以及參數(shù)運(yùn)行（New Parameter Run）和參數(shù)優(yōu)化（New Parameter Optimization）功能，實(shí)現(xiàn)MetaGrating的設(shè)計(jì)和優(yōu)化，以獲得偏振無關(guān)和高效率的光柵結(jié)構(gòu)。 對于MetaLens以及MetaGrating，我們采用了納米壓印技術(shù)，結(jié)合沉積、刻蝕等半導(dǎo)體工藝技術(shù)，可以實(shí)現(xiàn)低成本大面積的超透鏡結(jié)構(gòu)加工。   左圖：基于VirtualLab Fusion設(shè)計(jì)的2D MetaGrating 右圖：按照一定方向進(jìn)行排布的MetaLens結(jié)構(gòu) 加工咨詢qq：939912426 |
