最近在接觸一家做IBS和IBE設(shè)備的日本廠家。他們想調(diào)查一下中國(guó)市場(chǎng)有沒有前途。 ::_i@r  
我這幾天去了上海慕尼黑光電展，看了一些IBS和IBE的產(chǎn)品，基本上產(chǎn)品的領(lǐng)域很窄。 6'\6OsH  
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那家廠家做的IBS的基本情況是這樣的： s4&^D<  
使用的是美國(guó)產(chǎn)的離子源（考夫曼博士自家的產(chǎn)品，基本和VEECO一樣），所以和VEECO一樣有美國(guó)輸出限制。 U qG .:@T  
實(shí)際大概做了十幾臺(tái)，基本上是在日本的一些研究院，臺(tái)灣的某個(gè)客戶買了幾臺(tái)做BPF。 !9 fz(9  
大概能做100mm直徑的工件一枚，工件厚度最大10mm。 j+>J,axU!  
鍍膜能做200多層，每層大概幾個(gè)納米。 06jqQ-_`h  
因?yàn)槭请x子濺射鍍膜，鍍膜速度非常慢，200層左右大概要鍍5天左右。 Uj&W<'I  
（高于200層因?yàn)閼?yīng)力很大，哪怕10mm的板子也會(huì)破裂） +`?Y?L^ J  
KNH1#30 K  
產(chǎn)品一般運(yùn)用在5G通訊，激光，高反射鏡，重力波鏡，EUV鏡上面。 ,{\Bze1fn  
不知道論壇里面哪位是在這個(gè)范圍內(nèi)的，這種設(shè)備（鍍膜慢，工件�。┦欠裨趪�(guó)內(nèi)有前途？

離子濺射和刻蝕終將走集成自動(dòng)化，畢竟高端質(zhì)量在這，作者是行業(yè)大佬，有機(jī)會(huì)虛心向您學(xué)習(xí)

您太客氣了。我只是進(jìn)入這個(gè)行業(yè)比較早，經(jīng)驗(yàn)比較多一點(diǎn)。 IIy~[4dW  
就鍍膜這個(gè)行業(yè)來講，鍍膜是個(gè)系統(tǒng)工程，需要學(xué)習(xí)的知識(shí)實(shí)在是太多了。 fu~+8CE.  
恰巧我在離子源這方面做的比較多一點(diǎn)，所以想擴(kuò)展出來做些事情。 fGmT_C0t  
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蒸發(fā)鍍膜這個(gè)行業(yè)已經(jīng)慢慢的下沉了，所以想往半導(dǎo)體或者濺射，化學(xué)鍍膜方向走走看。 M